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OPM 新备件

  • OPM optics: improve intensity and CD uniformity

    For DUV (include PAS and AT system)
    Lens A,B,C, bending point mirror, entrance window
    For I-line
    Interference filter; UV-WG filter

  • New SWS flexcable for scanner (phase 2 and phase 3)

  • New wafer table clean tool

  • Stepper / aligner wafer table

  • 咨询专线

    +86 21 67693080

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